氨分解后直接得到氫氮混合氣，氣氛經(jīng)換熱器和水冷卻器冷卻，經(jīng)過流量控制后，可進行純化處理。純化裝置主要有除氧器（對氣氛含氧量有特殊要求的客戶選用）、冷卻器、分子篩、吸附干燥器和閥門組、電氣控制等組成。除氧器內(nèi)裝有貴金屬催化劑，對氣氛進行催化除氧；分子篩吸附干燥器采用沸石分子篩，對氣氛中的微量水、殘氨進行吸附脫除，最終得到高純度、干燥的產(chǎn)品氣。

　　

　　工作原理：

　　

　　氨（氣態(tài)）在一定溫度下，經(jīng)過催化劑作用下裂解為75%的氫氣和25%的氮氣，并吸收21.9千卡熱量，其主要反映為：2NH3（加熱催化）=3H2+N2-21.9千卡。整個過程因是吸熱膨脹反應(yīng)，提高溫度有利于氨裂解，同時它又是體積擴大的反應(yīng)，降低壓力有利于氨的分解。

　　

　　用液氨分解來制取保護氣體，在工業(yè)上是很容易實現(xiàn)的，這是因為：

　　

　　1、氨易分解：常壓，800~850℃在催化劑作用下，即使空速較大，氨分解度仍可超過99%。

　　

　　2、氣體精制容易：作為液氨純度是很高的，其中揮發(fā)性雜質(zhì)只有少是惰性氣體和水分，特別值得注意的是其中含O2極微，同時，氨分解時不可能有副反應(yīng)發(fā)生。由此可見，氨分解后氣體只要設(shè)法除去比較容易除去的少量水分就能得到精制了，半導體工業(yè)上所不希望存在的金屬離子cl、CO2等問題都不存在了。

　　

　　3、原料液氨容易得到。價格低廉，而且原料消耗也比較少(每公斤氨可產(chǎn)生2.6M3混合氣體)。

　　

　　特點：

　　

　　1、結(jié)構(gòu)緊湊，占地小，回收期短；

　　

　　2、投資省，運行安全可靠；

　　

　　3、高保溫性能，分解爐能溫度均勻，能耗更低；

　　

　　4、耐熱不銹鋼爐膽和鎳鉻合金電熱絲，使用壽命更長。